電子芯片潔凈車(chē)間是指在車(chē)間內(nèi)空氣中粒子濃度、微生物數(shù)量、溫濕度、氣流速度和氣壓等參數(shù)都在可控范圍內(nèi),以滿足生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品質(zhì)量要求的一種特殊工業(yè)建筑。
下面簡(jiǎn)單分享一下電子芯片潔凈車(chē)間的建設(shè)方案!
一、設(shè)備選型
1.空氣處理設(shè)備
空氣處理設(shè)備是保持車(chē)間潔凈度的關(guān)鍵因素之一。其主要作用是將車(chē)間內(nèi)的污染物進(jìn)行過(guò)濾和凈化,同時(shí)調(diào)節(jié)車(chē)間的溫濕度和氣壓等參數(shù),滿足生產(chǎn)過(guò)程和產(chǎn)品質(zhì)量的要求。
2.風(fēng)淋室
風(fēng)淋室是潔凈車(chē)間中的一個(gè)重要設(shè)備,主要用于對(duì)進(jìn)入車(chē)間的人員、物料和設(shè)備進(jìn)行除塵、除菌、凈化處理。電子芯片潔凈車(chē)間應(yīng)該配置風(fēng)淋室,以減少外界粉塵、微生物等污染物進(jìn)入車(chē)間。風(fēng)淋室的大小和數(shù)量應(yīng)該根據(jù)車(chē)間的實(shí)際情況進(jìn)行設(shè)計(jì),以確保其能夠滿足車(chē)間的潔凈要求。
3.潔凈室更衣室
潔凈室更衣室是潔凈室內(nèi)外的隔離區(qū)域,工作人員需在該區(qū)域內(nèi)穿戴潔凈服、手套、鞋套等防護(hù)設(shè)備,保證進(jìn)入潔凈室的人員不會(huì)帶入外界污染物。
4.空氣淋浴器
空氣淋浴器用于對(duì)進(jìn)入潔凈室的人員進(jìn)行空氣淋浴,除去人員身上可能攜帶的微粒和細(xì)菌,確保車(chē)間潔凈度。
5.空氣凈化器
空氣凈化器可對(duì)車(chē)間空氣中的粉塵、細(xì)菌、病毒等污染物進(jìn)行凈化,確保車(chē)間潔凈度。
6.溫濕度控制系統(tǒng)
溫濕度控制系統(tǒng)可以控制車(chē)間的溫濕度和氣壓等參數(shù),保證車(chē)間環(huán)境符合生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品質(zhì)量的要求。
二、暖通系統(tǒng)
1.空調(diào)系統(tǒng)
空調(diào)系統(tǒng)是電子芯片潔凈車(chē)間的主要暖通設(shè)備,其作用是調(diào)節(jié)車(chē)間溫濕度和氣流速度等參數(shù),保持車(chē)間潔凈度和舒適性。
2.送風(fēng)系統(tǒng)
送風(fēng)系統(tǒng)將潔凈的空氣從空調(diào)設(shè)備送入車(chē)間,形成相對(duì)靜止的氣流層,保持車(chē)間潔凈度。
3.排風(fēng)系統(tǒng)
電子芯片潔凈車(chē)間的排風(fēng)系統(tǒng)是整個(gè)車(chē)間的關(guān)鍵設(shè)備之一,其作用是將車(chē)間內(nèi)的污染物排出去,維持車(chē)間的潔凈度。
目前電子芯片潔凈車(chē)間的排風(fēng)系統(tǒng)主要采用兩種類(lèi)型,即局部排風(fēng)系統(tǒng)和全局排風(fēng)系統(tǒng)。局部排風(fēng)系統(tǒng)采用單個(gè)設(shè)備對(duì)局部的工藝設(shè)備進(jìn)行排風(fēng),可以達(dá)到較高的風(fēng)量和靜壓,對(duì)于對(duì)空氣潔凈度要求較高的車(chē)間適用。全局排風(fēng)系統(tǒng)則是將整個(gè)車(chē)間都納入到排風(fēng)范圍內(nèi),主要用于對(duì)車(chē)間溫度、濕度和潔凈度要求不是很高的場(chǎng)合。
三、裝修材料
在電子芯片潔凈車(chē)間的裝修材料選擇上,需要考慮到其對(duì)潔凈環(huán)境的影響,同時(shí)也要保證其具備抗靜電能力,建議選擇防靜電地板、墻面、天花板等材料。
對(duì)于墻面和地面的拐角處,應(yīng)該采用圓弧設(shè)計(jì),以減少積塵。
四、照明設(shè)計(jì)
在電子芯片潔凈車(chē)間的照明設(shè)計(jì)上,應(yīng)該選擇具備防靜電功能的照明設(shè)備。建議采用冷光源或LED燈管,以減少熱量的輻射和散熱。同時(shí)也需要考慮到照明的均勻性和亮度,以滿足工作需要。
五、廢氣廢水處理系統(tǒng)
在電子芯片潔凈車(chē)間的生產(chǎn)過(guò)程中,會(huì)產(chǎn)生大量廢氣和廢水,為了保證環(huán)境的潔凈和生態(tài)環(huán)保,必須配置相應(yīng)的廢氣廢水處理系統(tǒng)。廢氣處理系統(tǒng)主要包括排風(fēng)系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng),廢水處理系統(tǒng)主要包括污水收集、預(yù)處理和處理系統(tǒng)。
六、純水系統(tǒng)
電子芯片潔凈車(chē)間生產(chǎn)過(guò)程中需要使用大量的純水,因此需要配置純水系統(tǒng)。純水系統(tǒng)應(yīng)該包括前置處理系統(tǒng)和純化系統(tǒng),以確保供應(yīng)的純水能夠滿足車(chē)間生產(chǎn)的要求。
七、供氣系統(tǒng)
電子芯片潔凈車(chē)間生產(chǎn)過(guò)程中需要使用大量的氮?dú)?、氫氣等氣體,因此需要配置相應(yīng)的供氣系統(tǒng)。供氣系統(tǒng)應(yīng)該包括儲(chǔ)氣罐、氣體過(guò)濾、氣體干燥等設(shè)備,以確保供應(yīng)的氣體質(zhì)量和穩(wěn)定性。
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